產(chǎn)品概述
光刻烤膠機(晶圓烤膠機)產(chǎn)品優(yōu)勢以及特點:
1.可選帶有保溫蓋,整個加熱區(qū)形成一個保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;
2.機器可選擇帶有負壓功能,表面帶有若干吸附孔,可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合,起到受熱均勻效果;
3.免受磁干擾和危害:使其成為硅晶片晶圓研發(fā),醫(yī)療和實驗室使用的好選擇
4.增強紅外線加熱技術(shù),
5.具有真空負壓功能,表面設(shè)有若干吸附孔,可使被加熱材料與表面緊密貼合,從而達到受熱均勻效果;
6.帶有加熱保溫蓋,溫度可設(shè)置,整個加熱區(qū)形成一個保溫腔,大大提高溫度均勻度,也起到防塵作用;
7.自動進氣功能、過溫保護功能、超溫報警功能,計時功能,已獲得CE認證證書、實驗更安全、方便??!
光刻烤膠機(晶圓烤膠機)技術(shù)參數(shù):
1.加熱輸出功率:2000W
2.板面溫控:室溫~350℃
3.溫控模式:LED數(shù)顯溫度自由設(shè)定
4.溫度測試:內(nèi)置溫控與外置溫控可切換
5.溫度控制精度:±0.1
6.加熱區(qū):350×350mm(尺寸可定制)
7.功能選項:真空吸附功能:無極調(diào)節(jié)真空度,使樣品受熱更均勻;
8.頂針功能:直徑3mm,高度30mm任意設(shè)定高度,方便取片,樣品無接觸,避免污染;
9.限位功能:適合不同大小尺寸晶圓,防止樣品偏移,起到固定作用;
10.程序分段控制系統(tǒng):時間設(shè)定,功率輸出比設(shè)定,升溫曲線,通信等
11.產(chǎn)品外形尺寸:420×460×250mm
12.板面材質(zhì):納米陶瓷噴砂加熱面板
產(chǎn)品分類
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